（XRF）儀器由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X 射線（一次射線），激勵(lì)被測樣品。樣品中的每一種元素會放射出的二次X射線，并且不同的元素所放出的二次射線具有特定的能量特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將控測系統(tǒng)所收集的信息轉(zhuǎn)換成樣品中的各種元素的種類及含量。利用X射線熒光原理，理論上可以測量元素周期表中的每一種元素。在實(shí)際應(yīng)用中，有效的元素測量范圍為11號元素（鈉Na）到92號元素（鈾U）。


 

X射線熒光光譜儀是*的RoHS篩選檢測儀器，由于其檢測速度快、分辨率、實(shí)施無損檢測，所以被廣泛采用。X線熒光光譜儀品牌繁多，以至于分不出誰好誰差了。在《電子信息產(chǎn)品有毒有害物質(zhì)的檢測方法》IEC62321標(biāo)準(zhǔn)文本里提到：“用能量散射X射線熒光光譜法（ED－XRF）或波長散射X射線熒光光譜法（WD－XRF）對試樣中目標(biāo)物進(jìn)行測試，可以是直接測量樣品（不破壞樣品），也可以是破壞樣品使其達(dá)到”均勻材料”（機(jī)械破壞試樣）后測試。”能真正準(zhǔn)確無誤地將試樣篩選出合格、不合格、不確定三種類型，而且能大限度地縮小“不確定”部分就是好儀器。在保證既定準(zhǔn)確度的情況下盡可能快速檢測。尤其是企業(yè)選購，光譜儀是做日常RoHS監(jiān)督檢測用，非常看重這一點(diǎn)。所以，能夠準(zhǔn)確無誤地將試樣篩選出合格、不合格、不確定三種類型，又能大限度地縮小“不確定”部分，而且全部過程是在極短的時(shí)間內(nèi)完成的X射線熒光光譜儀是滿足使用要求的光譜儀。


 

性能無疑是評估光譜儀非常重要的指針性能優(yōu)異的光譜儀做篩選檢測能準(zhǔn)確無誤地排查合格和不合格，并將不確定的灰色部分壓縮到小；
有的光譜儀鉛砷不分、鎘的特征譜線與X光管銠電極的特征譜線重迭等。經(jīng)常誤判；
有的光譜儀檢測鎘的靈敏度不夠，不能準(zhǔn)確判定鎘；
大部分光譜儀的檢測穩(wěn)定性受到X光管老化、環(huán)境溫度、電源波動等影響，使數(shù)值不準(zhǔn)。
由于性能不足，可能發(fā)生錯(cuò)判、誤判、無法判定等事件頻發(fā)，不確定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本顯著提、風(fēng)險(xiǎn)增加。

關(guān)鍵性能參數(shù)

目前X線熒光光譜儀基本上采用銠靶X光管，有鎢靶X光管的。
A．銠（Rh）靶：銠的特征譜線與鎘的特征譜線重迭；測試需要濾波器。
B．鎢（W）靶：鎢的特征譜線與鉛，的特征光譜重迭，但發(fā)射強(qiáng)度。